光氧催化设备主要利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S，VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物的分子链在高能紫外线的光束的照射降解转变成低分子化合物，如CO2和H2O等。
光氧催化设备的工作原理如下：
一、光氧催化废气处理设备利用特制的高能光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体（如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯）的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
二、光氧催化废气处理设备利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊（活性氧）O+O2→O3（臭氧），臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它异味有很效率的清除效果。
三、光氧催化废气处理设备利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
四、特制催化剂：根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，大方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果。