为了进一步极限化的提高铟锡的收率,进一步简化工序,提升生产效率,减少环境污染,此次在基于氯化锡具有相对较低沸点的特性的基础上,设计了“盐酸浸出—蒸馏分离铟锡—锌或铝置换铟—蒸出锡提纯制五水氯化锡/蒸出酸回用”的技术方案,并进行了系统的试验验证。
采用蒸馏法进行铟锡的分离及资源化试验,在油浴温度132 ℃左右,蒸馏5 h左右,可得到满意的铟、锡分离效果及理想的铟锡回收率;本试验工艺可得到99.97%纯度的金属铟产品的同时,还可继续生产高品质的副产品五水氯化锡。蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后回用至盐酸浸出工序,节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
在实际生产中,采用蒸馏法分离铟、锡时,可考虑采用微负压系统进行产业化生产的升级改进。通过改善工艺条件和调整技术参数等,以充分的降低能耗,并获得更好的铟、锡分离效果,这也是今后产业化试验研究的主要方向。
ITO(氧化铟锡)靶材是溅射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一种,在显示靶材中占比将近50%。ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。