洁净厂房竣工验收合格并经审核批准后，按要求进行功能验收。功能验收应以“静态”模式进行。主要测试内容如下:
1.检测空气洁净度水平；
2.如果生产过程需要，还应进行微生物检验或化学污染物检验或特殊表面的清洁度检验。
3.洁净室(区)温度和相对湿度稳定性试验；
4.测试自清洁时间；
5.测试洁净室(区)的密封性；
6.测量照度；
7.确定噪声水平；
8.必要时，确认并记录气流模式和空气交换率；
其他需要进行的测试项目。
清洁车间验收使用后，应编制验收使用报告。其主要内容包括:
1.清洁厂各种设施(包括生产工艺设备)的开放状态说明；
2.被测试的洁净室(区域)人员及其活动的描述；
3.分项测试记录和分析意见(包括测试点位置、坐标等)。)；4.检验仪器的有效检定证书；
5.验收出具的相关结论。